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液體蒸發時的壓力稱為蒸發壓力(飽和蒸汽壓力)。液體蒸發壓力的大小與溫度有關，溫度越高。
汽化壓力值越高，如20℃水的汽化壓力為0.0238atm(latm=101325Pa)，100°C水的汽化壓力為latm。因此，對于常溫(20°C)水，當壓力降至0.0238atm時，就開始汽化，可見壓力降低是促進液。
水泵汽蝕的發生過程如下：在泵運行過程中，如果局部區域（通常是葉輪葉片）由于某種原因，輸送液體的壓力降低到當時溫度的蒸發壓力，液體會蒸發形成氣泡，溶解在液體中的氣體也會以氣泡的形式沉淀，這些氣泡的形成和發育狀態稱為蒸發（也稱為空化）。在流動的液體中，由于壓力的增加，氣泡的生長將被阻止和停止，然后爆炸和消失。氣泡破裂的劇烈過程發生在納秒級的很短時間內，產生大量的激波。當固體壁美觀時，氣泡破裂會剝離固體邊界，形成高速微射流。當壓力沖擊產生的強度大于材料機械強度的ji限時，固體邊界上會形成幾微米大小的坑。如果坑不斷堆積，形成海綿塑性變形和脫落，則稱為蒸發現象（也稱為空氣侵蝕）。也就是說，汽蝕不是在蒸發的位置，而是在蒸發泡沫破裂的位置，這就是泵汽蝕的過程。
蒸汽腐蝕發生在以水輪機和泵為代表的水力機械中。特別是為了降低垂直離心泵的尺寸，降低材料和加工成本，泵向小型化發展，要求泵的設計速度越來越高，導致泵的吸入性能差。另一方面，隨著經濟的快速增長，泵市場的各種需求和泵用戶選擇的不合理將使泵在非設計條件下運行。高速非設計條件下運行是泵容易蒸發的兩個主要因素。
