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羅茨真空泵的特點如下：

(1)羅茨真空泵的轉子與真空泵腔，轉子與轉子距離較小，不摩擦，不需要油潤滑。

(2)羅茨真空泵的轉子具有良好的幾何對稱性，有助于提高轉速，使其能夠生產加工出結構非常嚴密、抽氣量大的羅茨真空泵。

(3)羅茨真空泵在運行過程中振動和噪較小，羅茨泵容量大，容量利用系數=0.5左右。

(4)泵腔內不會出現水環(huán)真空泵等壓縮現象，因此羅茨真空泵不需要排氣閥。正因為如此，羅茨真空泵可以用來去除可凝氣體。

(5)羅茨真空泵啟動快，ji限真空能在短時間內實現。而且電機功率相對較小，運行維護成本相對較低。

(6)羅茨真空泵在很寬的壓力范圍內(1000Pa~1Pa)也有很大的抽氣速率，可以快速去除突然釋放的氣體，填補了擴散泵或旋轉真空泵(1000Pa~1Pa)抽氣速度慢的缺點。因此，羅茨真空泵非常適合增壓泵。